种类 | 型号/订货号 | 量程Pa | 测量路数 | 控制路数 | 规管配备 | |
粗、低真空计 | 电阻真空计 | ZDR-Ⅰ(-LED) | 大气~10-1 | 1 | 2 | ZJ-52T |
ZDR-Ⅱ(-LED) | 2 | ZJ-52T两只 | ||||
ZDR-X(-LED) | 3~8 | 3~8 | ZJ-52T 3~8只 | |||
热偶真空计 | ZDO-I(-LED) | 400~10-1(40~10-1) | 1 | 2 | ZJ-53B(ZJ-51) | |
ZDO-III(-LED) | 2 | ZJ-53B两只(ZJ-51两只) | ||||
电容真空计 | ZDM-I(-LED) | 大气~10-1 | 1 | 2 | ZJ-1C | |
ZDM-II (-LED) | 2 | ZJ-1C两只 | ||||
压阻真空计 | ZDY-I(-LED) | 大气~100 | 1 | 2 | ZJ-1P | |
ZDY-II(-LED) | 2 | 4 | ZJ-1P两只 | |||
高、超高真空 | 电离真空计 | ZDK-I-LED | 10~10-5 | 1 | 2 | ZJ-27 |
ZDK-III-LED | 100~10-4 | ZJ-10B | ||||
超高电离真空计 | ZDH-I-LED | 10-1~10-8 | 1 | 2 | ZJ-12 | |
冷磁控真空计 | ZDV-I-LED | 10-1~10-6 | 1 | 2 | ZJ-14 | |
ZDV-IC-LED | 1~10-4 | ZJ-14C | ||||
复合真空计 | 热偶、电离复合计 | ZDF-I-LED | 400~10-5 | 2 | 4 | ZJ-53B ZJ-27 |
ZDF-II-LED | 40~10-5 | ZJ-51 ZJ-2 | ||||
电阻、电离复合计 | ZDF-III-LED | 大气~10-5 | 2 | 4 | ZJ-52T ZJ-27 | |
电阻、B-A规复合计 | ZDF-IV-LED | 大气~10-8 | 2 | 4 | ZJ-52T ZJ-12 | |
电阻、冷规复合计 | ZDF-V-LED | 大气~10-6 | 2 | 4 | ZJ-52T ZJ-14 | |
ZDF-VC-LED | 大气~10-4 | ZJ-52T ZJ-14C | ||||
双电阻、壹电离计 | ZDF-X-LED | 大气~10-5 | 3 | 4 | ZJ-52T ZJ-27 | |
双热偶、壹电离计 | ZDF-IB-LED | 400~10-6 | ZJ-53B ZJ-27 | |||
双电阻、壹冷规计 | ZDF-VB-LED | 大气~10-6 | ZJ-52T ZJ-14 | |||
双电阻、壹B-A规复合计 | ZDF-ⅣB-LED | 大气~10-8 | ZJ-52T ZJ-12 | |||
双电阻、双电离计 | ZDF-ⅢB-LED | 大气~10-5 | 4 | 4 | ZJ-52T ZJ-27 | |
双电阻、双B-A规复合计 | ZDF-ⅣD-LED | 大气~10-8 | ZJ-52T ZJ-12 | |||
自动压强控制仪 | 自动压强控制仪 | ZDC-I-LED | 100~10-4 | 1 | 一阀 | ZJ-10B ZDT |
电阻自动压强控制仪 | ZDRC-I-LED | 100~10-4 | ZJ-52T ZDT | |||
电容自动压强控制仪 | ZDMC-I-LED | 100~10-4 | ZJ-1C ZDT | |||
电阻、电离复合压控仪 | ZDFC-III-LED | 大气~10-5 | 2 | 4控一阀 | ZJ-52T ZJ-27 ZDT-2 | |
真空表 | 量程规格 | 型号 | 安装螺纹 | 特性 | 备注 | |
-0.1~0MPa -0.1~-0.06MPa | Z60 | M14×1.5 | T型·径向带后边 Z型·轴向无边 ZT型·轴向带前边 | |||
Z100 | M20×1.5 | |||||
Z150 | M20×1.5 | |||||
真空压力表 | -0.1~0.15MPa、-0.1~0.3MPa、-0.1~0.5MPa、-0.1~0.9MPa | YZ60 | M14×1.5 | |||
YZ100 | M20×1.5 | |||||
YZ150 | M20×1.5 |