一、简介

本直线驱动器用于真空设备真空腔室内样品直线移动，内部动密封采用焊接波纹管结构，直线驱动更顺畅、密封性能更好、位置控制更精确，可用于超高真空环境。

二、技术参数：

1、连接法兰有两种接口：CF16、CF35；

2、精度可以达到0.1mm；

3、驱动距离按照客户要求制作（建议：≤150mm）